北京理工大学MEMS与智能微系统研究所（简称i²MEMS）的前身是北京理工大学信息与电子学院微电子所与微纳电子中心，并不断吸收新的科研力量，于2020年重新整合多方资源成立，经过两年多的建设，科研队伍不断壮大，已成长为一个多学科交叉融合、各方向优势互补的科研团队。

i²MEMS团队隶属于北京市一级重点学科“电子科学与技术”下属的“MEMS与集成微系统”二级学科建设单位，致力于研究MEMS微纳传感器与执行器芯片设计与制造和微流控技术，培养MEMS与集成微系统方向的高级专业人才，推动集成电路及相关学科发展。团队现有4位教授，1位副教授，2位助理教授，1位讲师，博士后10余名，博士研究生近30名，硕士研究生50名。