重点致力于先进纳米技术和新型声光电功能材料的前沿交叉研究，解决 MEMS 行业的关键科学问题和技术瓶颈，为国家在声光电功能材料及芯片等领域面临的卡脖子问题提供解决方案，满足国民经济升级和国家战略重大需求。具体研究任务包括： 

1）研究石墨烯等二维材料的结构、机理、制备工艺和表征方法，发展大面积二维生长与制备技术；以石墨烯等二维材料的声、光、力、 电、磁、热等特性以应用于各种 MEMS 传感器和执行器为目标，主要考虑提高灵敏度、选择比、动态范围、可靠性等性能，开发基于石墨烯等二维材料的新原理器件与集成技术； 

2）研究各种金属合金薄膜材料的结构、机理、制备工艺和表征方法，测试其机械特性，特别是其蠕变特性和疲劳特性，研制抗疲劳能力强且蠕变小的合金薄膜材料； 

3）研究新型压电材料，研制高压电系数、高机电耦合系数的无铅压电薄膜材料及其制备工艺，并适用于压电传感器。