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工程中心围绕基于CMOS集成电路的MEMS技术的工程化产业需求,解决MEMS多功能集成、专用CMOS集成电路(ASIC)设计、三维集成、MEMS与CMOS电路集成以及硅光子集成方面的关键技术难题,结合学校在基础材料、物理模型、CMOS-MEMS集成工艺、ASIC设计与声光电磁集成微系统融合设计等方面的技术优势,瞄准新型声光电功能材料、声光电MEMS器件设计与工艺、声光电CMOS-MEMS集成、声光电系统集成与应用技术四个方向开展技术攻关,研制出先进的智能化轻量化微型化多功能集成声光电系统,并开发其在无人驾驶、智能物联网、医学影像、智慧环境、遥感遥测、航空航天和国防等领域的应用。工程中心以CMOS集成电路为基础,以MEMS技术为核心,以智能感知与控制为导向,强化关键技术攻关,提升工程化和系统集成创新能力;促进成果转化与技术转移,推动行业技术发展,如图1所示。同时,发挥科教融合和科研育人优势,培养一批高水平工程科技创新人才;推动学科交叉与国际合作交流。

本工程研究中心,在创新成果服务于国家集成电路战略基础上,加快现有储备技术应用于智能物联网、无人驾驶、遥感遥测、智能制造、环境监测、航空航天等,形成军品民品服务于国防与民生;瞄准国家重大战略需求,与中电科集团、华为、华大九天、北方华创等国内第一梯队半导体企业通力合作,承担重大重点集成电路和智能感知相关科技与装备研发任务,针对产业化关键技术开展攻关研究,完善产学研全链条服务体系,加速已有科技成果的迅速转化,开发自主知识产权成果,不断将产品推向市场、推向新的应用领域,取得显著的经济效益。

本工程研究中心将持续产出具有自主知识产权的新材料、新工艺、48新MEMS芯片、新CMOS芯片、新ASIC芯片、新模块、新系统和新算法,通过成果转化、与企业合作,这些知识产品不仅能提升合作企业的技术实力,同时也可以转化为经济效益,带动知识产权吸纳地的地方经济,增强经济活跃度,提升当地的人才竞争力。比如,本中心研发的MEMS微镜,可以通过北京理工大学重庆微电子研究院的MEMS工艺线工程化开发、实现批量生产和MEMS微镜芯片销售;同时MEMS微镜芯片的模块和系统开发即可在当地就近实施,衍生一批小微企业,使当地科技发展进入快车道。当然,其它MEMS芯片、ASIC芯片和CMOS-MEMS芯片也是同样发展路径,形成集群效应。

本工程研究中心,依托于北京理工大学“双一流”高校,具有高端人才聚集优势和国防科技创新优势,拥有集成电路科学与工程和电子科学与技术两个一级学科、以及丰富的产学研合作、成果转化与产业化经验。通过工程研究中心建设,进一步整合资源,提升工程化和系统集成能力,促进成果转化与技术转移,推动行业技术进步,服务国防与国家重大战略需求,取得更大的社会效益。