研究方向：

MEMS，CMOS-MEMS 集成，集成无源器件，三维集成，惯性传感器，光学MEMS，声学MEMS，生物光子学，光学内窥显微成像，光通信，激光雷达，微型红外/近红外光谱仪

研究团队简介：

该方向以国家高层次海外人才谢会开教授（IEEE Fellow）为学科带头人，研究团队长期从事 光 学 / 声 学 / 惯 性 /RF/BioMEMS 等方向的研究。该方向研究骨干包括郑德智, 逯遥，张金英，于伟华，范绪阁，钟海政，王刚等。

典型研究基础：

1、作为主流电热 MEMS 微镜的发明人，提出了 MEMS 电热驱动结构，创新性解决了 MEMS 驱动器位移小的难题；  

2、提出了隐藏式驱动器，解决了 MEMS 微镜阵列填充率低（小于 10%）的难题，实现了填充率达 90%的 MEMS 微镜阵列，其中两种 MEMS 微镜设计已在国内实现小批量生产