人才与职务背景:
国家级高层次青年人才,集成声光电微纳系统教育部工程研究中心副主任,北京理工大学MEMS与智能微系统研究所执行所长、科技部重点研发项目负责人。11年海外留学工作经历,主要从事生物微纳操作系统、光电镊技术、微流控技术、BioMEMS、微全分析系统研究。担任中国工程院院刊Engineering青年编委、国际期刊Micromachines客座编辑、Frontiers for Robotics and AI 的副编辑,担任生化分析类顶级国际会议MicroTas的技术委员会委员。现发表80余篇学术论文,含PNAS、 Nature Communications、Science Advances、Chemical Society Reviews等一流期刊论文,出版英文专著2部,他引2400余次,H-index为23;在MicroTas、SPIE Photonics West等顶级国际会议上做主旨报告/特邀报告12次,口头报告7次,授权并转化美国专利1项,申请中国发明专利10项,参与多个企业的孵化和成果转化。
研究方向:
MEMS,CMOS-MEMS 集成,集成无源器件,三维集成,惯性传感器,光学MEMS,声学MEMS,生物光子学,光学内窥显微成像,光通信,激光雷达,微型红外/近红外光谱仪
作为主流电热 MEMS 微镜的发明人,提出了 MEMS 电热驱动结构,创新性解决了 MEMS 驱动器位移小的难题;
提出了隐藏式驱动器,解决了 MEMS 微镜阵列填充率低(小于 10%)的难题,实现了填充率达 90%的 MEMS 微镜阵列,其中两种 MEMS 微镜设计已在国内实现小批量生产。
研究成果:
发表科技论文350余篇,授权美国专利19 项,授权中国发明专利50余项。
邮箱:
hk.xie@bit.edu.cn